燒結(jié)真空爐克服了硅煙氣體在高溫真空狀態(tài)下容易與碳纖維發(fā)生反應(yīng)，碳纖維制成的保溫套管失去保溫效果的問(wèn)題，其包括圓柱形爐體，爐體由外向內(nèi)設(shè)有爐套和隔熱套，爐體與爐套之間有隔熱層。

　　在保溫套管的內(nèi)周面設(shè)有石墨套管，使保溫套管不直接面對(duì)硅粉氣體，燒結(jié)材料支撐架與石墨套筒固定連接，防止燒結(jié)材料支撐架穿過(guò)隔板，本實(shí)用新型有效地保護(hù)了保溫套，防止其失去保溫效果。

　　作為改進(jìn)，石墨套管、燒結(jié)材料支撐架和電加熱體的表面分別涂有0.3-0.8mm厚的氮化硼層，石墨套管的作用是為燒結(jié)材料支撐架提供支撐，并將硅氣與隔熱套管隔離，但是，在高溫真空條件下，硅和石墨也會(huì)發(fā)生反應(yīng)，氮化硼層是為了進(jìn)一步阻止硅氣與石墨套筒的反應(yīng)。

　　燒結(jié)材料支撐架和電加熱體可以提高部件的使用壽命，作為進(jìn)一步的改進(jìn)，在爐體外部設(shè)置了一個(gè)可以提供循環(huán)冷卻介質(zhì)的空氣泵，該空氣泵與隔熱材料連通。